H01L 21/265 — с внедрением ионов
Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках
Номер патента: 16467
Опубликовано: 14.03.2008
Авторы: Тулеушев Юрий Жианшахович, Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович
МПК: C23C 14/58, H01L 21/265
Метки: сверхпроводящего, синтеза, пленках, интерметаллического, соединения, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области получения сверхпроводников и может бытьиспользовано в электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленностипри формировании многоуровневой сверхпроводящей схемы внутри пленочного несверхпроводящегопокрытия.