C23C 14/58 — последующая обработка
Способ синтеза сверхпроводящего интерметаллического соединения в пленках
Номер патента: 16467
Опубликовано: 14.03.2008
Авторы: Володин Валерий Николаевич, Тулеушев Адил Жианшахович, Тулеушев Юрий Жианшахович
МПК: H01L 21/265, C23C 14/58
Метки: синтеза, соединения, сверхпроводящего, интерметаллического, пленках, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к области получения сверхпроводников и может бытьиспользовано в электротехнической, радиотехнической и других отраслях промышленностипри формировании многоуровневой сверхпроводящей схемы внутри пленочного несверхпроводящегопокрытия.