H01J 37/153 — электронно-оптические или ионно-оптические устройства для коррекции дефектов изображения, например стигматоры
Корректор аберраций электронных линз
Номер инновационного патента: 26505
Опубликовано: 14.12.2012
Авторы: Якушев Евгений Михайлович, Бимурзаев Сеиткерим Бимурзаевич
МПК: H01J 37/153, H01J 37/12, H01J 37/04...
Метки: линз, электронных, аберраций, корректор
Формула / Реферат:
Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению и может быть использовано при формировании изображения объектов с помощью электронных (ионных) линз, в частности его применяют в электронной микроскопии объектов микро- и нанотехнологии.Корректор аберраций электронных линз содержит осесимметричный магнитный дефлектор и осесимметричное электростатическое электронное зеркало, расположенные друг относительно друга так, что центр...