H01J 37/12 — электростатические
Корректор аберраций электронных линз
Номер инновационного патента: 26505
Опубликовано: 14.12.2012
Авторы: Бимурзаев Сеиткерим Бимурзаевич, Якушев Евгений Михайлович
МПК: H01J 37/12, H01J 37/04, H01J 37/153...
Метки: линз, аберраций, электронных, корректор
Формула / Реферат:
Изобретение относится к электронно-оптическому приборостроению и может быть использовано при формировании изображения объектов с помощью электронных (ионных) линз, в частности его применяют в электронной микроскопии объектов микро- и нанотехнологии.Корректор аберраций электронных линз содержит осесимметричный магнитный дефлектор и осесимметричное электростатическое электронное зеркало, расположенные друг относительно друга так, что центр...