G01Q 10/00 — Устройства сканирования или позиционирования, т.е. устройства для активного управления движением или положением зонда
Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта
Номер патента: 31337
Опубликовано: 15.07.2016
Авторы: Волков Алексей Дмитриевич, Алексеев Александр Михайлович, Соколов Дмитрий Юрьевич, Ефимов Антон Евгеньевич
МПК: G01Q 30/20, G01Q 10/00
Метки: сканирующий, объекта, модификации, совмещенный, поверхности, зондовый, микроскоп, устройством
Формула / Реферат:
Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения зондовыми методами объектов после нанотомирования и исследования структур макро- и микроносителей в условиях низких температур.Задача изобретения - расширение функциональных возможностей сканирующего зондового микроскопа, совмещенного с устройством модификации поверхности...