Ефимов Антон Евгеньевич
Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта
Номер патента: 31337
Опубликовано: 15.07.2016
Авторы: Алексеев Александр Михайлович, Волков Алексей Дмитриевич, Ефимов Антон Евгеньевич, Соколов Дмитрий Юрьевич
МПК: G01Q 10/00, G01Q 30/20
Метки: поверхности, совмещенный, объекта, сканирующий, зондовый, устройством, микроскоп, модификации
Формула / Реферат:
Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством модификации поверхности объекта относится к измерительной технике, в частности к устройствам для измерения зондовыми методами объектов после нанотомирования и исследования структур макро- и микроносителей в условиях низких температур.Задача изобретения - расширение функциональных возможностей сканирующего зондового микроскопа, совмещенного с устройством модификации поверхности...