G01N 27/12 — твердого тела в зависимости от абсорбции текучей среды, твердого тела; в зависимости от реакции с текучей средой

Номер инновационного патента: 20343

Опубликовано: 17.11.2008

Авторы: Дмитриева Елена Анатольевна, Мухамедшина Дания Махмудовна

МПК: G01N 27/12

Метки: изготовления, способ, газа, слоя, чувствительного, сенсора

Формула / Реферат:

Способ изготовления чувствительного слоя сенсора газа, использующий обработку тонких пленок диоксида олова низкотемпературной как кислородной, так и водородной плазмой тлеющего разряда относится к созданию полупроводниковых металлооксидных датчиков для контроля утечек токсичных и взрывоопасных газов.Заявляемый способ позволяет увеличить чувствительность пленки диоксида олова к малым концентрациям этанола и обеспечивает линейность зависимости...