Патенты с меткой «чувствительного»

Номер инновационного патента: 20343

Опубликовано: 17.11.2008

Авторы: Мухамедшина Дания Махмудовна, Дмитриева Елена Анатольевна

МПК: G01N 27/12

Метки: газа, изготовления, сенсора, чувствительного, способ, слоя

Формула / Реферат:

Способ изготовления чувствительного слоя сенсора газа, использующий обработку тонких пленок диоксида олова низкотемпературной как кислородной, так и водородной плазмой тлеющего разряда относится к созданию полупроводниковых металлооксидных датчиков для контроля утечек токсичных и взрывоопасных газов.Заявляемый способ позволяет увеличить чувствительность пленки диоксида олова к малым концентрациям этанола и обеспечивает линейность зависимости...