Патенты с меткой «кластеров»
Способ получения кластеров металла III группы на подложке полупроводникового соединения А 3 В 5
Номер инновационного патента: 25347
Опубликовано: 20.12.2011
Авторы: Антощенко Владимир Степанович, Антощенко Евгений Владимирович, Францев Юрий Валерьевич
МПК: H01L 21/208
Метки: способ, получения, металла, полупроводникового, соединения, кластеров, группы, подложке
Формула / Реферат:
Изобретение относится к технологии полупроводников, преимущественно к методам создания каталитических областей на поверхности подложек соединений А3В5 для последующего выращивания игольчатых кристаллов или наноостровков, а также для создания гетероструктур с захороненными слоями, и может быть использовано для изготовления оптоэлектронных полупроводниковых приборов, в частности фоточувствительных и светоизлучающих матриц. Достигаемый технический...