Патенты с меткой «гидрогенизированного»
Способ получения легированных пленок аморфного гидрогенизированного кремния n-типа проводимости
Номер инновационного патента: 20679
Опубликовано: 15.01.2009
Авторы: Айтмамбетов Рахмет Мектепбаевич, Мукашев Фарид Аташевич
МПК: C01B 33/04
Метки: проводимости, получения, аморфного, гидрогенизированного, пленок, способ, кремния, n-типа, легированных
Формула / Реферат:
Изобретение относится к способам синтеза кремневодородов (силана и его производных), которые используются для выращивания полупроводникового кремния, пленок аморфного гидрогенизированного кремния в полупроводниковой промышленности, а также в качестве исходного сырья в производстве кремний-органических соединений.Предлагаемый способ, включающий использование взаимодействия силицида магния с водным раствором четырехнормальной соляной кислоты, за...