КОЧАК, Марк, Н.
Металлический тантал (варианты), изделие из него (варианты), металлический сплав (варианты), мишень для напыления (варианты), конденсаторная емкость (варианты) и резистивная пленка (варианты), включающие металлический тантал, способ получения металлического тантала (варианты)
Номер предварительного патента: 12432
Опубликовано: 17.12.2002
Авторы: КОЧАК, Марк, Н., МАГВАЙР, Джеймс, Д., мл., ХЬЮБЕР, Луис, Е., мл., МИХАЛЮК, Кристофер, А.
МПК: C23C 14/34, C22B 34/24
Метки: получения, резистивная, пленка, способ, изделие, мишень, тантала, металлический, металлического, емкость, сплав, включающие, него, конденсаторная, варианты, напыления, тантал
Формула / Реферат:
Описаны высокочистый металлический тантал и содержащие его сплавы. Металлический тантал предпочтительно имеет чистоту, по меньшей мере, 9,995% и, более предпочтительно, по меньшей мере, 99,999%. В добавление описаны металлический тантал и его сплавы, которые или имеют размер зерна около 50 микрон или менее, или текстуру, в которой (100) интенсивность внутри любого 5% инкремента толщины меньше примерно 15 рандом, или инкрементный логарифм...