H01J 49/08 — источники электронов, например для генерирования фотоэлектронов, вторичных электронов или электронов Оже
Способ создания бета-спектрометрического источника
Номер предварительного патента: 7247
Опубликовано: 15.02.1999
Автор: Тыныштыкбаев Курбангали Байназарович
МПК: H01J 49/08
Метки: источника, создания, бета-спектрометрического, способ
Формула / Реферат:
Изобретение относится к методам электронной спектроскопии и может быть использовано в аналитическом приборостроении.Техническим результатом предлагаемого способа создания бета-спектрометрического источника с компенсацией электронно-оптической ширины изображения является: 1) упрощение способа создания бета-источника путем совмещения операций создания высокоомной кремниевой подложки и активации изотопа исследуемого вещества при облучении...