C30B 25/02 — выращивание эпитаксиальных слоев

Номер инновационного патента: 28831

Опубликовано: 15.08.2014

Авторы: Мажибаев Асылжан Кенжекереевич, Сабиралиева Жанат Ыбрайқызы, Тулембаева Дана Дюсембековна, Надиров Рашид Казимович

МПК: C30B 29/50, C30B 29/00, C30B 25/02...

Метки: кадмия, способ, сульфида, получения, пленок

Формула / Реферат:

Изобретение относится к области неорганической химии, а именно к химической технологии полупроводниковых материалов, в частности, к получению пленок сульфида кадмия, которые могут быть использованы в изготовлении фотоэлектрических тонкопленочных преобразователей энергии.Технический результат - снижение температуры подложки при пиролизе аэрозоля с получением пленки сульфида кадмия.Предлагаемый способ позволяет снизить температуру подложки при...