C23C 14/46 — с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника
Устройство для имплантации вещества в материалы
Номер патента: 23663
Опубликовано: 17.01.2011
Авторы: Касымов Мурат Камзинович, Кожанбердинов Арман Нурланович, Плотников Александр Лукич, Касымова-Бегеулова Галя Хаджи-Бекировна
МПК: B82B 3/00, C23C 14/46
Метки: материалы, вещества, имплантации, устройство
Формула / Реферат:
Изобретение относится к имплантации ионов в различные материалы и может быть использовано при изготовлении полупроводников и наноструктурированных материалов с особыми свойствами. Задача, решаемая изобретением заключается в повышении производительности имплантации. Технический результат от использования изобретения заключается в уменьшении распыления атомов имплантанта и повышении концентрации атомов имплантанта в обрабатываемом материале....