Электростатический энергоанализатор для анализа удаленных объектов

Номер предварительного патента: 12658

Опубликовано: 15.01.2003

Автор: Ильин Аркадий Михайлович

Формула / Реферат

Изобретение относится к спектроскопии потоков заряженных частиц и может быть использовано при создании электростатических энергоанализаторов для исследований поверхностей твердых тел, потоков заряженных частиц в космосе или в плазме, обладающих высокой разрешающей способностью по энергии, высокой чувствительностью, простых в конструктивном исполнении и экономичных при изготовлении. Электростатический энергоанализатор содержит внешний и внутренний цилиндрические коаксиальные электроды, ограничивающий электрод перпендикулярный оси симметрии, имеющий потенциал внутреннего цилиндра, выходное окно, выполненное во внутреннем цилиндре, имеет приемную диафрагму, имеющую вид узкой кольцевой щели или отверстия малого диаметра, расположенного на оси симметрии, и детектор, находящиеся вне поля - в полости внутреннего цилиндра. В торцевой части установлен ограничивающий электрод, перпендикулярный оси симметрии, имеющий потенциал внутреннего цилиндра, содержащий входное окно для ввода пучка заряженных частиц. Достигаемый технический результат - повышение разрешающей способности, чувствительности и расширение области применения.

МПК / Метки

МПК: H01J 49/48

Метки: анализа, энергоанализатор, удаленных, электростатический, объектов

Код ссылки

<a href="https://kz.patents.su/0-pp12658-elektrostaticheskijj-energoanalizator-dlya-analiza-udalennyh-obektov.html" rel="bookmark" title="База патентов Казахстана">Электростатический энергоанализатор для анализа удаленных объектов</a>

Похожие патенты